[发明专利]一种离子注入机用光路对中工装在审
| 申请号： | 201610582816.9 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN107644800A | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子注入机用光路对中工装，该工装用于完成离子注入机关键光路部件位置校准，以保证离子束沿理论设计路线传输。该对中工装包括激光发射装置、可调整激光器固定架和光路部件工装，该对中工装可以实现对中束流离子注入机的离子源区与平行透镜区进行结构对中校准，保证注入机有最好品质与效率的离子束流传输。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 用光 工装 | ||
【主权项】：
一种离子注入机用光路对中工装，其特征在于包括，束线腔体用工装一(1)通过圆柱销与螺钉固定在束线腔体(103)上，束线腔体用工装二(2)同样通过圆柱销与螺钉固定在束线腔体(103)上；分析器用工装一(3)、分析器用工装二(6)均通过圆柱销与螺钉固定在分析器(101)上，激光器固定组件(4)通过圆柱销与螺钉固定在分析器(101)上，激光器(5)固定在激光器固定组件(4)；离子源区对中组件(7)通过圆柱销与螺钉固定在预过滤组件(103)上。
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