[发明专利]三明治型金属超结构的红外辐射光源及制作方法

摘要

本发明属于光学领域和微纳系统领域，具体为一种“三明治”型金属超结构的红外辐射光源及制作方法。一种“三明治”型金属超结构的红外辐射光源：包括ITO/IZO基片、在基片上沉积的孔洞阵列结构金属薄膜层、电介质层、以及在电介质层上制备的长方体状金属阵列结构。利用孔洞阵列结构光学异常透射增强效应和特定形貌微纳结构局域表面等离激元共振天线辐射增强效应耦合可以增强表面等离激元MEMS红外光源辐射，同时通过调整金属阵列和电介质层结构的几何参数可以实现对等离激元MEMS红外光源工作波段的调整和线宽的压窄。本发明中涉及的基于金属超表面的金属阵列结构具有很好的可扩展性，并且制作工艺简单、容易实现。

主权项

1. “三明治”型金属超结构的红外辐射光源，其特征在于包括ITO/IZO基片、在基片上沉积的孔洞阵列结构金属薄膜层、电介质层、以及在电介质层上制备的长方体状金属阵列结构，底层金属薄膜层的厚度为t ，中间电介质层的厚度为d ，顶层金属阵列结构的厚度为h ，单个长方体金属块的长度为l ，宽度为w ，顶层金属阵列结构前后左右之间的距离分别为P 2、P 1，当金属超结构参数 t 、d 、l 、w 、P 1、P 2中任何一个参数发生变化时，表面等离激元增强红外辐射金属超结构的谐振谱线都会随之发生变化，因此可以通过合理的设计金属超结构参数来实现高发射性能、窄线宽且可调谐的等离激元MEMS红外辐射光源。