[发明专利]一种铜锌锡硫薄膜的制备方法在审

专利信息
申请号: 201610573931.X 申请日: 2016-07-20
公开(公告)号: CN106449862A 公开(公告)日: 2017-02-22
发明(设计)人: 姜海龙;孟凡英;黄勇亮;韦小庆 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 上海光华专利事务所31219 代理人: 罗泳文
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种铜锌锡硫薄膜的制备方法,包括步骤:1)以铜盐、锌盐、锡盐、硫脲四种化合物为原料,按原子比Cu/(Zn+Sn)=0.7~1,Zn/Sn=1~1.2的比例溶解于有机溶剂中形成铜锌锡硫溶液;2)将所述铜锌锡硫溶液旋涂于基底;3)于200℃~300℃下进行预退火制成铜锌锡硫薄膜;4)将所述铜锌锡硫薄膜放入退火腔室,于500℃~600℃下进行后退火。本发明可有效解决铜锌锡硫高温分解的问题,成膜后的金属比例与前驱体溶液比例一致,可以轻松获得理想的贫铜富锌金属比例。本发明可以提高了薄膜的结晶度,有利于铜锌锡硫太阳电池效率的提升;本发明可有效避免污染问题,并节约生产成本,具有实用价值,因充入氮气的初始压强可控,可实现不同压强对成膜影响的研究,具有重要意义。
搜索关键词: 一种 铜锌锡硫 薄膜 制备 方法
【主权项】:
一种铜锌锡硫薄膜的制备方法,其特征在于,包括步骤:步骤1),以铜盐、锌盐、锡盐、硫脲四种化合物为原料,按原子比Cu/(Zn+Sn)=0.7~1,Zn/Sn=1~1.2的比例溶解于有机溶剂中形成铜锌锡硫溶液;步骤2),将所述铜锌锡硫溶液旋涂于基底;步骤3),于200℃~300℃下进行预退火制成铜锌锡硫薄膜。
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