[发明专利]一种功率器件的整体封装方法有效
申请号: | 201610570746.5 | 申请日: | 2016-07-18 |
公开(公告)号: | CN106684004B | 公开(公告)日: | 2019-07-05 |
发明(设计)人: | 杨烨照;蔡良正;苏剑波;徐星德 | 申请(专利权)人: | 浙江益中智能电气有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/488;H01L23/34 |
代理公司: | 台州市方圆专利事务所(普通合伙) 33107 | 代理人: | 林米良 |
地址: | 317500 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种功率器件的整体封装方法,属于功率器件处理技术领域。为了解决现有的稳定性和散热性差的问题,提供一种功率器件的整体封装方法,包括将芯片焊接在铜框架的焊盘上进行上芯;再经过压焊、塑封固化、电镀和切筋成型,得到功率器件,上芯具体在氢氮混合气体的保护下,使铜框架进行预加热处理;再进行点焊处理,在焊盘上形成锡球;再对锡球进行整形,使锡球铺开在焊盘上;然后进入焊接区将芯片放置在相应的焊盘锡球上进行焊接,使芯片的背面焊接在焊盘上;再进入后加热区进行加热处理后,冷却后,完成功率器件芯片的上芯。本发明能够提高操作的稳定性,且能够有效防止焊锡出现体积收缩现象,实现保证低空洞率和倾斜度低的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 功率 器件 整体 封装 方法 | ||
【主权项】:
1.一种功率器件的整体封装方法,该方法包括将芯片(21)焊接在铜框架(1)的焊盘(12)上进行上芯工序处理;然后,再经过压焊工序、塑封固化工序、电镀工序和切筋成型,得到相应的功率器件,其特征在于,所述上芯工序处理具体包括以下步骤:A、在氢氮混合气体的保护下,使需要上芯的铜框架(1)先经过上芯工序加热轨道中的预热区进行预加热处理,使铜框架(1)经过预热区后的温度升温控制在320℃~350℃;B、经过预热区后,再使铜框架(1)进入点焊区进行点焊处理,使在铜框架(1)的焊盘(12)上形成锡球;C、点焊完成后,再使铜框架(1)进入压模区对锡球进行整形,使锡球铺开在铜框架(1)的焊盘(12)上;D、然后进入焊接区将芯片(21)放置在相应的锡球上进行焊接,使芯片(21)的背面焊接在焊盘(12)上;E、焊接完成后进入后加热区进行加热处理后,且使后加热区的温度设定在180℃~200℃,然后再进入冷却区进行冷却处理后,完成芯片(21)的上芯。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造