[发明专利]一种双面抛光机的上盘温度检测结构

摘要

本发明是一种双面抛光机的上盘温度检测结构，包括上抛盘，所述上抛盘的一端面固接一水冷盘，上抛盘的另一端面上设置有上盘架，所述水冷盘与上抛盘上多处共同连接有传感器衬套，所述传感器衬套内设有温度传感器，所述温度传感器的导线与一水银滑环的活动端相连，所述水银滑环的活动端通过传动机构与上盘架连接并同步旋转。本发明结构简单，能对抛光盘实时直接检测，利用多点温度检测，提高了对抛光盘实现精密的温度控制，严格控制抛光盘的形变，保证了加工质量及精度。

主权项

1.一种双面抛光机的上盘温度检测结构，包括上抛盘（1），其特征在于，所述上抛盘（1）的一端面固接一水冷盘（3），上抛盘（1）的另一端面上设置有上盘架（2），所述水冷盘（3）与上抛盘（1）上多处共同连接有传感器衬套（14），所述传感器衬套（14）内设有温度传感器（15），所述温度传感器（15）的导线与一水银滑环（7）的活动端相连，所述水银滑环（7）的活动端通过传动机构与上盘架（2）连接并同步旋转，所述上盘架（2）的上端和下端分别固接旋转接头支撑套（9）和水冷盘（3），所述旋转接头支撑套（9）内侧通过轴承转动地设有心轴（12），所述心轴（12）下端固接有十字万向节下关节（8），所述水银滑环（7）固接于十字万向节下关节（8）的内孔中，水银滑环（7）下方设有轴承密封盖（4），所述温度传感器（15）的导线穿过轴承密封盖（4）与水银滑环（7）的活动端相连，所述轴承密封盖（4）与旋转接头支撑套（9）下端面卡接配合。