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- [发明专利]一种晶圆研磨定位装置-CN202310577659.2在审
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吴社竹;翟新;王永光;陈中杰;黄冬梅
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苏州江锦自动化科技有限公司
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2023-05-22
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2023-10-03
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B24B37/34
- 本发明公开了一种晶圆研磨定位装置,包括基台,基台上表面对应安装有研磨台,在研磨台上向内凹设有研磨槽,所述研磨槽内底部安装有防滑垫,并在研磨槽上四个方向上均增配有调节单元,在调节单元上对应安装有定位单元,借助定位单元在研磨槽内对晶圆进行四个方向的导向定位。本发明借助定位单元能够对晶圆进行四个方向上的定位,使得晶圆不会出现偏移,提升了研磨精度,可针对不同厚度的晶圆进行微调使用,灵活性强,并且在调节单元的配合下,能够实现对定位单元位置的灵活调整,从而实现适配不同尺寸的晶圆进行研磨加工,方便工作人员针对不同尺寸的晶圆进行动态调节,提高了该定位装置的适配性。
- 一种研磨定位装置
- [发明专利]装车机及装车方法-CN201810832705.8有效
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许大红;石江涛;程朝辉;张杰;田艺;黄盼龙;翟新
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合肥泰禾光电科技股份有限公司
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2018-07-23
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2023-08-04
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B65G67/04
- 本发明公开了一种装车机及装车方法,涉及物流机械设备领域。装车机包括装车机架、装车传送机构、装车旋转机构、码放移动机构及码放装置,装车传送机构设置于装车机架,装车机架、码放移动机构及码放装置依次连接;装车旋转机构包括装车旋转主体、装车旋转驱动件及两个装车夹持板,装车旋转驱动件与装车旋转主体连接,两个装车夹持板分别连接于装车旋转主体的两端,两个装车夹持板设置于装车传送机构上方;装车旋转驱动件能够带动装车旋转主体转动,以使两个装车夹持板选择性地带动经过两个装车夹持板之间的货物转动。一种装车方法,应用于上述装车机,该装车机及装车方法具有码放的货物的形式多样,且码放效率高的特点。
- 装车方法
- [发明专利]码垛设备及码垛方法-CN201810832704.3有效
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许大红;石江涛;张杰;程朝辉;黄盼龙;翟新;田艺
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合肥泰禾光电科技股份有限公司
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2018-07-23
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2023-08-04
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B65G61/00
- 本发明公开了一种码垛设备及码垛方法,涉及物流机械设备领域。码垛设备包括组合装置和码垛装置;组合装置包括组合拨打机构和组合传送机构,组合拨打机构能够沿第一方向运动,并由组合拨打工位拨打至少一个货物至组合传送机构上,且组成组合部,组合传送机构用于传送组合部;码垛装置包括相互连接的码垛三维运动机构和码垛提取机构,码垛三维运动机构能够带动码垛提取机构由组合传送机构运动至码垛工位,且码垛提取机构能够由组合传送机构提取组合部,并放置组合部于托盘,以形成货垛。一种码垛方法,应用于上述的码垛设备。该码垛设备及码垛方法具有较高的货物的码垛的稳定性和码垛效率,并且具有较强的通用性。
- 码垛设备方法
- [发明专利]一种晶圆研磨装置-CN202310298698.9在审
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王永光;吴社竹;翟新;陈中杰;黄冬梅
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苏州江锦自动化科技有限公司
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2023-03-24
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2023-06-06
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B24B5/00
- 本发明属于研磨设备技术领域,且公开了一种晶圆研磨装置,包括底板,所述底板的侧面固定安装有安装架,所述安装架的上端固定安装有顶部座,所述顶部座的顶部固定安装有电机座。本发明通过利用转轴上的叶片在底部套中形成轴流风,并将环境气体抽吸并输送至底部管中,并配合中间管将气流通入到研磨套中,利用给入的流动气流提高研磨套中的空气量,从而吹动下使得粉尘裹挟并通过底部的细孔全面吹出,并配合底部的收集机构完成粉尘过滤收集,在旋转研磨过程中完成内部粉尘的吹出和收集,大大减小了后续过滤分离晶圆的步骤,同时减轻了排出空气中粉尘的清理,优化了实际研磨工序,提高效率,且收集后的晶圆粉料便于转移利用,使用效果好。
- 一种研磨装置
- [发明专利]一种晶圆研磨设备-CN202310345535.1在审
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王永光;吴社竹;翟新;陈中杰;黄冬梅
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苏州江锦自动化科技有限公司
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2023-04-03
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2023-05-30
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B24B7/22
- 本发明公开了一种晶圆研磨设备,包括研磨台,在研磨台上内凹开设有收纳区,在收纳区内中心处安装有加工盘,并在加工盘上内凹开设有研磨槽,所述研磨台内隐藏安装有回收部件,在研磨台上方安装有研磨单元,并在研磨单元与收纳区之间安装有调整部件。本发明在回收部件的配合下,能够对研磨过程中产生的研磨液进行集中回收,保证了研磨台上的洁净,避免了研磨液在研磨台上堆积无法清理的不足,同时在调整部件的配合下,能够对研磨盘下移的位置进行动态定位,可适配不同厚度的晶圆进行加工调节,保证了研磨盘下移量的稳定,避免研磨盘下移不到位以及下移过量对晶圆的研磨造成干扰的问题。
- 一种研磨设备
- [发明专利]一种晶圆研磨用承载盘组件-CN202310374364.5在审
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吴社竹;翟新;王永光;陈中杰;黄冬梅
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苏州江锦自动化科技有限公司
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2023-04-10
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2023-05-26
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B24B37/30
- 本发明属于晶圆研磨技术领域,且公开了一种晶圆研磨用承载盘组件,包括底座,所述底座的顶端等角度固定安装有支撑架,所述支撑架的顶端均安装有固定导轨,所述固定导轨的上方均设有置物板,所述置物板和固定导轨以及支撑架的数量相同且数量均为八个。本发明通过置物板的相互靠近以及联动组件的联动作用,实现了在未进行研磨操作时,多个置物板围成的顶端承载盘面积明显大于晶圆的面积,方便进行晶圆的放置,而在进行晶圆的研磨时可通过多个置物板的相对靠近实现顶端承载面积的减小并趋近于晶圆的面积,实现晶圆的相对限位,有效避免了传统装置缺乏一定限位固定导致晶圆研磨时容易出现偏移的问题,提高晶圆的研磨效果。
- 一种研磨承载组件
- [实用新型]晶圆摆动式研磨装置-CN202223101947.0有效
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王永光;吴社竹;翟新;黄冬梅;陈中杰
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苏州江锦自动化科技有限公司
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2022-11-22
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2023-05-12
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B24B37/10
- 本实用新型揭示了一种晶圆摆动式研磨装置,包括:容置盒,其内部设有一研磨垫,研磨垫始终浸泡在研磨液中;下盘,设置在容置盒内,其上设有研磨垫,下盘可由驱动组件驱动其自转;上盘,可与研磨垫抵接,其顶部与摆动组件连接,可根据研磨压力实现自由摆动,其底部设有用以将晶圆吸附的吸附板,吸附板上固设有铜凸台,铜凸台与外界电源正极连接;铜圆柱,可与研磨垫抵接,且其与外界电源负极连接。本实用新型的摆动组件可根据晶圆表面的凹凸情况进行自动摆动,从而可以对晶圆的局部进行研磨,从而提高晶圆的局部和整体的平整度。另外,该装置结构紧凑,占用空间小,便于合理布局,具有较广的适用性。
- 摆动研磨装置
- [发明专利]晶圆研磨设备-CN202211463258.6在审
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王永光;吴社竹;翟新;黄冬梅;陈中杰
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苏州江锦自动化科技有限公司
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2022-11-22
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2023-01-17
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B24B37/10
- 本发明揭示了一种晶圆研磨设备,包括机架;下盘,由下盘驱动组件驱动其产生自转,所述下盘上固设有始终饱含有研磨液的研磨垫;上盘,其设置在所述研磨垫的上方;还包括螺旋驱动组件,设置在所述机架上,用于推送所述上盘沿其径向方向滑动并同时驱动所述上盘产生自转,进而使所述上盘产生螺旋运动;施力组件,始终对所述上盘施加垂直于所述研磨垫的作用力,使所述晶圆始终受到所述研磨垫的反作用力。本发明改变了上盘的运行轨迹,在下盘旋转的基础上,上盘自转及径向移动使上盘产生相对下盘的螺旋运动,使晶圆的各个位置打磨量趋于一致,增强打磨效果铜圆柱和铜凸台通电产生电场,可缩减化学反应时间,而可缩减微影处理的碟状化或侵蚀。
- 研磨设备
- [实用新型]一种医疗设备固定装置-CN202120154394.1有效
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翟新
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烟台毓璜顶医院
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2021-01-20
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2021-12-14
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A61B50/20
- 本实用新型公开了一种医疗设备固定装置,包括可调限位装置,可调限位装置包括限位带,限位带后段的右侧面固定连接有挡板,限位带的上表面中心处和下表面中心处均固定连接有橡胶板,限位带前段上表面右侧开设有连通孔,连通孔的多处开设可以根据需要固定的医疗设备尺寸合理调节矩形板左侧面漏出的限位带长度,极大地提高了该装置的实用性,同时橡胶板的设置能增加可调限位装置与医疗设备的接触面积,降低了固定过程中可调限位装置对医疗设备受力面的压强,有效解决了传统固定装置容易损坏医疗设备的问题,同时能进一步增强可调限位装置对医疗设备的固定效果,避免医疗设备在受到较大冲击力发生位移损坏的概率。
- 一种医疗设备固定装置
- [实用新型]一种医疗设备内部清扫装置-CN202120154367.4有效
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翟新
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烟台毓璜顶医院
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2021-01-20
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2021-10-08
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B08B1/04
- 本实用新型公开了一种医疗设备内部清扫装置,包括直管,直管内壁上固定连接有隔板,隔板将直管内部分隔成上下两部分,直管内部上部分开设有消毒液槽,消毒液槽用来放置消毒液,直管内部下部分开设有电线槽,电线槽内部活动连接有电线,卡块通过固定环与直管固定连接,通过采用长握把上设置电机带动刷头转动的方式来对核磁共振设备进行清理消毒,解决了人工清理时核磁共振所能够到的范围有限的问题,并且刷头通过圆环可以左右调整角度,当面对缝隙时,使刷头贴合核磁共振设备内部壁面,刷头的最外一圈便可以贴合缝隙进行清扫,并且清扫完毕后可以通过喷头喷洒消毒液,使得清扫与消毒环节结合起来,从而使清消工作更加快捷有效。
- 一种医疗设备内部清扫装置
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