[发明专利]一种钛管表面种植金刚石微晶的方法有效

专利信息
申请号: 201610554633.6 申请日: 2016-07-14
公开(公告)号: CN106011776B 公开(公告)日: 2018-09-21
发明(设计)人: 潘凡峰 申请(专利权)人: 上海开山中夏节能科技有限公司
主分类号: C23C16/02 分类号: C23C16/02;C23C16/27;C02F1/461
代理公司: 上海容慧专利代理事务所(普通合伙) 31287 代理人: 于晓菁
地址: 201102 上海市闵*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种钛管表面种植金刚石微晶的方法。CVD法是制备金刚石电极的通用方法,制备出大面积金刚石电极的关键是基材表面种植均匀的、结合力强的金刚石微晶,成为CVD工艺中的晶种。本发明的方法是利用基材钛与金刚石不同的热膨胀系数,在600~800℃的高温下,用机械研磨法种植金刚石微晶。
搜索关键词: 一种 表面 种植 金刚石 方法
【主权项】:
1.一种钛管表面种植金刚石微晶的方法,其特征在于所述方法是利用钛与金刚石不同的膨胀系数,使金刚石微晶牢固地植入钛管表面的微孔内;所述方法包括步骤:1)钛管前处理;2)对前处理后的钛管进行喷砂;3)将钛管置于种植室内并与研磨管靠近,将粒径为5000~10000目的金刚石微晶粉末置于钛管表面,所述钛管与所述研磨管之间的间隙为0.2‑0.8mm;4)在600~800℃的高温下使钛管和研磨管逆向转动,使两者相互研磨,一段时间后停止研磨;5)让钛管自然冷却至室温,即制得表面种植有金刚石微晶的钛管。
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