[发明专利]一种基于亚微米超平滑金属薄膜的高灵敏FP压力传感器在审
| 申请号： | 201610538661.9 | 申请日： | 2016-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN106017756A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 刘雪强;齐跃峰;刘燕燕;姜芳;相鹏瑞 | 申请（专利权）人： | 燕山大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 秦皇岛一诚知识产权事务所(普通合伙) 13116 | 代理人： | 李合印 |
| 地址： | 066004 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种基于亚微米超平滑金属薄膜的高灵敏FP压力传感器，其主要是：作为FP腔体的毛细玻璃管，其一个环形端面与单模光纤的横截面熔接，环形端面的外径和单模光纤的直径相等，该毛细玻璃管的另一个环形端面与将其覆盖的圆形金属薄膜固连，该金属薄膜为表面平整度高且厚度为亚微米级的金属薄膜，并且单模光纤的横截面中心、金属薄膜的中心均在毛细玻璃管的轴线上，所述金属薄膜采用银、铝或镍制备。本发明的结构光纤化，结构简单、体积纤小，可靠性高，能够实现压力的高精度测量，同时便于大规模组网。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微米 平滑 金属 薄膜 灵敏 fp 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种基于亚微米超平滑金属薄膜的高灵敏FP压力传感器，其是由毛细玻璃管、单模光纤和金属薄膜组成，其特征在于：作为FP腔体的毛细玻璃管，其一个环形端面与单模光纤的横截面熔接，环形端面的外径和单模光纤的直径相等，该毛细玻璃管的另一个环形端面与将其覆盖的圆形金属薄膜固连，该金属薄膜为表面平整度高且厚度为亚微米级的金属薄膜，并且单模光纤的横截面中心、金属薄膜的中心均在毛细玻璃管的轴线上，所述金属薄膜采用银、铝或镍制备。
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