[发明专利]基于甲氨基氯化铅薄膜的可见光盲紫外探测器的制备方法

摘要

基于甲氨基氯化铅薄膜的可见光盲紫外探测器的制备方法。本发明涉及一种叉指型共平面金属‑半导体‑金属(MSM)结构的甲氨基氯化铅(CH3NH3PbCl3)薄膜可见光盲紫外探测器的制备。其中CH3NH3PbCl3薄膜是通过混合连续沉积过程形成的，首先氯化铅(PbCl2)通过热蒸发法先沉积在衬底上，然后旋涂上一层氯化甲胺(CH3NH3Cl)，最后通过退火，使PbCl2和CH3NH3Cl反应生成致密的且结晶度良好的CH3NH3PbCl3薄膜。这种探测器在360nm的响应率高达15.6A/W，电流开关比接近两个数量级。这些结果表明CH3NH3PbCl3薄膜探测器在可见光盲紫外探测器的应用方面极具竞争力。

主权项

一种基于甲氨基氯化铅（CH3NH3PbCl3）薄膜的可见光盲紫外探测器的制备方法，其特征在于，具有如下工艺过程和步骤：a. 将硅片衬底进行预处理：选择合适大小的硅片，用RCA标准清洗法清洗后，在约900℃下，通干氧氧化10分钟，在其表面氧化出一层厚度约83 nm的二氧化硅（SiO2）层；b. 在硅片上镀上金叉指电极，方法为光刻和热蒸发；叉指电极之间的电极间距与电极宽度都是5 µm，有效区域为3×105 µm2；c. 在叉指电极上将氯化铅（PbCl2）镀上去，形成薄膜，然后将镀好的薄膜转移到充满氮气的手套箱中；在叉指电极上镀上PbCl2的方法为热蒸发法；d. 将氯化甲胺（CH3NH3Cl）溶液均匀的涂覆在上述的PbCl2薄膜上；CH3NH3Cl前驱体溶液为0.15 mol/L；将CH3NH3Cl溶液均匀的涂覆在PbCl2薄膜上的方法为旋涂法，转速为3000 r/min；e. 将沉积的薄膜进行后期退火处理，获得共平面的金属‑半导体‑金属（MSM）结构的CH3NH3PbCl3薄膜可见光盲紫外探测器；后期退火处理是指将沉积的CH3NH3PbCl3薄膜在60℃条件下烘烤30分钟，形成致密、结晶良好的薄膜。