[发明专利]悬挂型可见光及近红外波段硅基光波导集成光电探测器

摘要

本发明公开了一种悬挂型可见光及近红外波段硅基光波导集成光电探测器。无源输入光波导包括第一硅衬底以及从下到上依次层叠在第一硅衬底上的波导下包层和芯层条形型波导；有源光吸收区域包括第二硅衬底以及直接覆于第二硅衬底上的悬挂波导、输出波导和金属电极，悬挂波导和输出波导均沿芯层条形型波导方向延伸布置，悬挂波导连接在芯层条形型波导和输出波导之间，金属电极位于输出波导的两侧方。本发明仅需要简单的光波导结构，便于与其他集成光波导器件集成，有利于实现集成化、小型化、便携式、低成本的光电探测接收系统。

主权项

一种悬挂型可见光及近红外波段硅基光波导集成光电探测器，其特征在于：包括无源输入光波导(1)和有源光吸收区域(2)，其中：无源输入光波导(1)包括第一硅衬底(11)以及从下到上依次层叠在第一硅衬底(11)上的波导下包层(12)和芯层条形型波导(13)；有源光吸收区域(2)包括第二硅衬底(21)以及直接覆于第二硅衬底(21)上的悬挂波导(22)、输出波导(23)和金属电极(24)，悬挂波导(22)和输出波导(23)均沿芯层条形型波导(13)方向延伸布置，悬挂波导(22)连接在芯层条形型波导(13)和输出波导(23)之间，金属电极(24)位于输出波导(23)的两侧方。