[发明专利]基于平面空气轴承解耦装置的三轴加速度计标定台

摘要

本发明公开了一种基于平面空气轴承解耦装置的三轴加速度计标定台，利用X、Y、Z三个方向的平面空气轴承解耦装置，在平面空气轴承和工作台台面之间形成静压支撑气膜，以减小摩擦，X、Y、Z三个方向激振器同时激励，经由三个平面空气轴承解耦装置完成运动的解耦，推动所述工作台同时在X、Y、Z方向上运动。本发明基于平面空气轴承解耦装置的三轴加速度计标定台在三个相互垂直的方向同时产生激励，一次装卡，并同时标定X、Y、Z三个方向的灵敏度及其各方向之间的交叉灵敏度，且输入的加速度范围也相对广泛。

主权项

1.基于平面空气轴承解耦装置的三轴加速度计标定台，包括底座(1)，在空间上相互垂直分布的三个激振器(2A、2B、2C)，工作台(4)，装卡支架(6)和三个激光干涉仪(7A、7B、7C)，三个激振器(2A、2B、2C)通过螺栓固定于底座(1)上，装卡支架(6)通过螺栓固定在工作台(4)上，其特征在于：它还包括三个平面空气轴承解耦装置(3A、3B、3C)，三个平面空气轴承解耦装置(3A、3B、3C)装在工作台(4)上并分别与三个激振器(2A、2B、2C)相连；所述平面空气轴承解耦装置包括磁铁(9)、钢贴片(10)、平面空气轴承(11)、球头锁死机构(12)、球头螺杆(13)、安装板(14)和安装板位置调节机构(16)，平面空气轴承(11)的两端面一端为连接面，另一端为工作面，球头螺杆(13)的一端被球头锁死机构(12)压在平面空气轴承(11)连接面上的球头凹槽内，球头锁死机构(12)通过空气轴承(11)连接面上的螺孔与平面空气轴承(11)通过螺栓(15)连接，平面空气轴承(11)的工作面与工作台(4)的连接板相连，球头螺杆(13)的另一端通过螺纹与装在安装板(14)上的安装板位置调节机构(16)的一端连接，安装板位置调节机构(16 )的另一端与联轴器(8)的一端连接，安装板(14)的位置通过安装板位置调节机构(16)来调节，联轴器(8)的另一端与激振器相连，磁铁(9)的一端通过螺钉固定于安装板(14)的两侧，磁铁(9)的另一端与设在连接板上的钢贴片(10)相连；所述的工作台(4)包括3个连接板(23、25、27)、矩形板(24)和2个肋板(26)，第一、第二连接板(23、27)相互垂直，并同时与矩形板(24)垂直，2个肋板分别用于第一、第二连接板(23、27)与矩形板(24)的连接，第三连接板(25)设在矩形板(24)的中央。