[发明专利]干蚀刻设备有效
| 申请号： | 201610527683.5 | 申请日： | 2016-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN106098525B | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 肖文欢 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种干蚀刻设备，通过将载体存放室的抽气管路连通至干蚀刻处理室与废气处理室之间的抽气管路，利用从载体存放室抽出的破真空气体对废气处理室的入口进行吹扫，减少粉尘堆积，通过废物利用解决了废气处理室的入口堵塞问题，降低了废气处理室发生障碍的可能性，从而减少废气处理室的维修和停机次数，降低生产成本，由于废气处理室的维修和停机次数减少，使得干蚀刻处理室的运行时间变长，从而提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 设备 | ||
【主权项】：
一种干蚀刻设备，其特征在于，包括依次排列的载体存放室(10)、传输室(20)及干蚀刻处理室(30)；所述载体存放室(10)与传输室(20)通过第一腔门(81)进行连通和隔离，所述传输室(20)与干蚀刻处理室(30)通过第二腔门(82)进行连通和隔离；所述干蚀刻处理室(30)通过第一管路(51)连通至第一抽气设备(41)，所述第一抽气设备(41)通过第二管路(52)连通至废气处理室(70)，从而可在蚀刻制程结束后将所述干蚀刻处理室(30)内残留的制程尾气抽送至废气处理室(70)中并在废气处理室(70)内进行处理；所述载体存放室(10)在真空状态和大气压状态之间切换，从真空状态切换至大气压状态需要向载体存放室(10)内注入破真空气体，从大气压状态切换至真空状态需要从载体存放室(10)内抽出破真空气体；所述载体存放室(10)通过第三管路(53)连通至第二抽气设备(42)，所述第二抽气设备(42)连通至第四管路(54)，所述第四管路(54)连通至所述第二管路(52)上靠近废气处理室(70)入口的位置，从而可在所述载体存放室(10)从大气压状态切换至真空状态时将所述载体存放室(10)内的破真空气体抽出并传输至废气处理室(70)入口，对废气处理室(70)入口进行吹扫。
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