[发明专利]一种测量非透明薄膜厚度分布的双面干涉装置和方法在审
| 申请号： | 201610516647.9 | 申请日： | 2016-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN106152951A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 王宗伟;孟婕;王琦;马小军;高党忠;唐兴;杜凯 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B9/02 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种测量非透明薄膜厚度分布的双面干涉装置和方法，所述方法设置了两个物光对向、共轴的白光干涉光路，位移台带动厚度标样或薄膜样品沿物光光轴方向步进运动，同时，两个面阵探测器采集厚度标样或薄膜样品表面的形貌信息，通过厚度标样标定两个干涉物镜的干涉焦面间的距离，进而计算薄膜样品厚度分布，应用本方法制成的测量装置，无需辅助夹具，可实现非透明薄膜厚度分布的快速、无损和精确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 透明 薄膜 厚度 分布 双面 干涉 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种测量非透明薄膜厚度分布的双面干涉装置，其特征在于，包括干涉光路机构Ⅰ、干涉光路机构Ⅱ、样品支架(1)、位移台(5)、计算机(17)、图像采集卡(18)和位移台控制器(19)；所述的位移台(5)上固定有样品支架(1)，样品支架(1)上放置有厚度标样(2)和薄膜样品(6)，位移台控制器(19)控制位移台(5)移动；干涉光路机构Ⅰ包括点光源Ⅰ(7)，点光源Ⅰ(7)发射的光线入射至透镜Ⅰ(8)和分光镜Ⅰ(9)，在分光镜(9)反射，反射光入射至干涉物镜Ⅰ(10)，在干涉物镜Ⅰ(10)中分束为物光和参考光，物光照射到样品表面并反射成样品反射光，参考光入射至干涉物镜Ⅰ(10)中的参考镜并反射成参考反射光，样品反射光和参考反射光在干涉物镜Ⅰ(10)中形成携带样品表面信息的干涉光，干涉光进入分光镜(9)透射至聚光镜Ⅰ(11)并聚焦至面阵探测器Ⅰ(3)形成干涉图像，干涉图像通过图像采集卡(18)传输至计算机(17)；干涉光路机构Ⅱ与干涉光路机构Ⅰ的结构相同，对称分布，物光光轴同轴。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心，未经中国工程物理研究院激光聚变研究中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610516647.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：油茶籽装袋时用的固定装置
- 下一篇：一种新型具有金属探测装置的水下摄像机
