[发明专利]用于掩模版传输的交换版机械手装置及具有其的光刻机在审
| 申请号： | 201610510807.9 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107561868A | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 马方波;吴福龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于掩模版传输的交换版机械手装置及具有该交换版机械手装置的光刻机。所述用于掩模版传输的交换版机械手装置包括版叉和多个支撑单元，所述多个支撑单元对称地安装于所述版叉的下表面并且各包括支撑架、浮动组件和浮动支撑块，所述浮动支撑块通过浮动组件设置于支撑架的底板之上；在没有加载掩模版时，所述多个支撑单元的浮动支撑块浮于所述底板之上；在加载掩模版后，所述多个支撑单元的浮动支撑块同时与所述掩模版的下表面接触。本发明能够有效地消除由于机械加工和组件安装过程中出现的误差以及版叉自身的变形所导致的掩模版与掩模版支撑块之间的间隙及角偏斜，防止掩模版相对于版叉发生位移甚至掉落。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 模版 传输 交换 机械手 装置 具有 光刻 | ||
【主权项】：
一种用于掩模版传输的交换版机械手装置，其特征在于，包括版叉和多个支撑单元，所述多个支撑单元安装于所述版叉的下表面并且各包括支撑架、浮动组件和浮动支撑块，所述浮动支撑块通过浮动组件设置于支撑架的底板之上；未加载掩模版时，所述多个支撑单元的浮动支撑块浮于所述底板之上；加载掩模版后，所述多个支撑单元的浮动支撑块同时与所述掩模版的下表面接触。
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