[发明专利]一种铝蚀刻剂及其制备方法有效
| 申请号： | 201610510486.2 | 申请日： | 2016-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN105970225B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 严增源;王国洪;陈峰;钱海书 | 申请（专利权）人： | 苏州博洋化学股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于化学制剂技术领域，涉及一种铝蚀刻剂及其制备方法，其中铝蚀刻剂配方包括磷酸70～78wt％，硝酸5～6wt％，乙酸6～10wt％，氨基磺酸1～5wt％，其余为水。本发明铝蚀刻液可以将金属化合物转化为可溶性盐类溶于水中，对不同金属的蚀刻速度基本一致，反应稳定，避免沉淀附着影响蚀刻效率和基板表面整洁，方便去除表面污垢。 | ||
| 搜索关键词： | 铝蚀刻 蚀刻 制备 化学制剂 乙酸 金属化合物 可溶性盐类 氨基磺酸 表面污垢 基板表面 铝蚀刻液 硝酸 磷酸 水中 附着 去除 沉淀 配方 整洁 金属 转化 | ||
【主权项】：
1.一种铝蚀刻剂，其特征在于配方包括：![]()
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