[发明专利]一种铝蚀刻剂及其制备方法有效
申请号: | 201610510486.2 | 申请日: | 2016-07-01 |
公开(公告)号: | CN105970225B | 公开(公告)日: | 2018-07-13 |
发明(设计)人: | 严增源;王国洪;陈峰;钱海书 | 申请(专利权)人: | 苏州博洋化学股份有限公司 |
主分类号: | C23F1/20 | 分类号: | C23F1/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铝蚀刻 蚀刻 制备 化学制剂 乙酸 金属化合物 可溶性盐类 氨基磺酸 表面污垢 基板表面 铝蚀刻液 硝酸 磷酸 水中 附着 去除 沉淀 配方 整洁 金属 转化 | ||
【权利要求书】:
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