[发明专利]一种流体抽排装置和一种浸没式光刻机有效
| 申请号： | 201610510465.0 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107561865B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 赵丹平;聂宏飞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种流体抽排装置，用于将浸没头中浸液流场边缘的气液混合物抽排至气液回收设备，所述流体抽排装置包括依次连接的第一抽排管、雾化腔和第二抽排管，所述气液混合物经所述第一抽排管进入雾化腔中雾化，雾化后再经由所述第二抽排管进入气液回收设备，所述流体抽排装置能将进入所述流体抽排装置的各向异性的气液两相流转变为各向同性的“雾化状”单相流，保持所述流体抽排装置中各处压力平稳；本发明还公开了一种浸没式光刻机，设有上述流体抽排装置，所述浸没式光刻机的浸液流场稳定、流场密封效果好，有效防止浸液流场抽排处的气液混合物在管路中产生气液两相“水塞”现象，提高了曝光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流体 装置 浸没 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种流体抽排装置，用于将浸没头中浸液流场边缘的气液混合物抽排至气液回收设备，其特征在于，所述流体抽排装置包括依次连接的第一抽排管、雾化腔及第二抽排管，所述气液混合物经所述第一抽排管进入雾化腔中雾化，雾化后再经由所述第二抽排管进入气液回收设备。
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