[发明专利]一种流体抽排装置和一种浸没式光刻机

权利要求书

1.一种流体抽排装置，用于将浸没头中浸液流场边缘的气液混合物抽排至气液回收设备，其特征在于，所述流体抽排装置包括依次连接的第一抽排管、雾化腔及第二抽排管，所述气液混合物经所述第一抽排管进入雾化腔中雾化，雾化后再经由所述第二抽排管进入气液回收设备。

2.根据权利要求1所述的流体抽排装置，其特征在于，所述雾化腔包括左右开口的腔室以及分别设置在所述腔室上下方的第一超声波板和第二超声波板。

3.根据权利要求2所述的流体抽排装置，其特征在于，所述雾化腔腔室的内壁设有至少一组第一导流肋阵列，所述第一导流肋阵列沿所述气液混合物的流动方向设置，所述第一导流肋阵列中各导流肋平行间隔设置，且各导流肋的高度小于所述腔室的厚度但大于所述腔室厚度的一半。

4.根据权利要求3所述的流体抽排装置，其特征在于，当所述腔室内设有至少两组所述第一导流肋阵列时，各个所述第一导流肋阵列沿所述气液混合物的流动方向平行间隔设置。

5.根据权利要求1所述的流体抽排装置，其特征在于，所述第二抽排管的内径大于所述第一抽排管的内径。

6.根据权利要求1或5所述的流体抽排装置，其特征在于，所述流体抽排装置还包括第一导流机构，所述第一导流机构为漏斗形，包括大端和小端，所述第一导流机构的大端连通所述雾化腔进液的一端，小端连通所述第一抽排管。

7.根据权利要求6所述的流体抽排装置，其特征在于，所述第一导流机构的内壁上设有第二导流肋阵列，所述第二导流肋阵列中各导流肋沿着所述气液混合物的流动方向设置成发散形态。

8.根据权利要求6所述的流体抽排装置，其特征在于，所述流体抽排装置还包括第二导流机构，所述第二导流机构为漏斗形，包括大端和小端，所述第二导流机构的大端连通所述雾化腔出液的一端，小端连通所述第二抽排管。

9.根据权利要求8所述的流体抽排装置，其特征在于，所述第二导流机构的内壁上设有第三导流肋阵列，所述第三导流肋阵列中各导流肋沿着所述气液混合物的流动方向设置成聚拢形态。

10.根据权利要求1所述的流体抽排装置，其特征在于，所述第二抽排管的内部填充有若干毛细管。

11.根据权利要求10所述的流体抽排装置，其特征在于，所述流体抽排装置还包括连接于所述第二抽排管和气液回收设备之间的第三抽排管路，所述第三抽排管的内部填充有若干毛细管。

12.根据权利要求11所述的流体抽排装置，其特征在于，所述第二抽排管内部填充的毛细管与所述第三抽排管内部填充的毛细管相同。

13.根据权利要求11所述的流体抽排装置，其特征在于，所述第三抽排管上设有负压调节阀。

14.根据权利要求11所述的流体抽排装置，其特征在于，所述第三抽排管的外部包裹有保温材料。

15.根据权利要求1所述的流体抽排装置，其特征在于，所述第一抽排管的长度小于等于0.3m。

16.根据权利要求1所述的流体抽排装置，其特征在于，所述流体抽排装置还包括供气装置，所述供气装置包括供气管路和供气设备，所述供气设备通过所述供气管路与所述雾化腔连通。

17.根据权利要求16所述的流体抽排装置，其特征在于，所述供气装置还包括设置在所述供气管路上的气体流量控制阀。