[发明专利]一种用于单分子检测的分子载体的制备方法有效
申请号: | 201610509705.5 | 申请日: | 2016-07-01 |
公开(公告)号: | CN107561052B | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 金元浩;李群庆;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01N21/65 | 分类号: | G01N21/65 |
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地址: | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于单分子检测的分子载体的制备方法,该方法包括以下步骤:提供一基板;提供一具有多个微孔的碳纳米管复合结构,该碳纳米管复合结构包括一碳纳米管结构以及一包覆于该碳纳米管结构表面的预制层,且该碳纳米管结构包括多个交叉设置的碳纳米管;将所述碳纳米管复合结构设置于所述基板的表面,从而使的所述基板的表面部分暴露;以该碳纳米管复合结构为掩模干法刻蚀所述基板,从而的到一具有图案化的凸起的基板,且该图案化的凸起包括多个凸条交叉设置形成网状结构,从而定义多个孔洞;以及在所述图案化的凸起上沉积一金属层。本发明的分子载体的制备方法简单、效率高,且易于产业化。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 分子 检测 载体 制备 方法 | ||
【主权项】:
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