[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体有效
| 申请号： | 201610509140.0 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN106338281B | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 木暮翔太;田中悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;许梅钰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有优异的温度特性的物理量传感器，并提供一种具备该物理量传感器的电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器(1)具备可动质量部(32)，其具有第一可动电极部(322a)和第二可动电极部(322b)，所述第一可动电极部(322a)具有与第一固定电极部(213a)对置的部分，所述第二可动电极部(322b)具有与第二固定电极部(213b)对置的部分，并且所述可动质量部(32)在俯视观察时呈包围第一固定电极侧固定部(21a)、第二固定电极侧固定部(21b)、第一可动电极侧固定部(31a)以及第二可动电极侧固定部(31b)的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
1.一种物理量传感器，其特征在于，在将互相正交的三个轴设为X轴、Y轴以及Z轴时，所述物理量传感器包括：第一固定电极侧固定部，其包括第一固定电极部；第二固定电极侧固定部，其包括以沿着所述X轴而相对于所述第一固定电极部并排的方式被配置的第二固定电极部，并以在所述X轴方向上与所述第一固定电极侧固定部对置的方式被配置；第一可动电极侧固定部以及第二可动电极侧固定部，所述第一可动电极侧固定部以及第二可动电极侧固定部以沿着所述Y轴并排的方式而被配置；可动质量部，其包括第一可动电极部以及第二可动电极部，所述第一可动电极部包括与所述第一固定电极部对置的部分，所述第二可动电极部包括与所述第二固定电极部对置的部分，并且所述可动质量部在俯视观察时呈包围所述第一固定电极侧固定部、所述第二固定电极侧固定部、所述第一可动电极侧固定部以及所述第二可动电极侧固定部的形状；第一弹性部，其沿着所述Y轴而对所述第一可动电极侧固定部与所述可动质量部进行连接；第二弹性部，其沿着所述Y轴而对所述第二可动电极侧固定部与所述可动质量部进行连接，在从所述Z轴方向进行俯视观察时，所述第一固定电极侧固定部以及所述第二固定电极侧固定部被配置于所述第一可动电极侧固定部与所述第二可动电极侧固定部之间。
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