[发明专利]一种硅片切割砂浆的回收方法在审
| 申请号： | 201610507106.X | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107557135A | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 崔敏娟 | 申请（专利权）人： | 崔敏娟 |
| 主分类号： | C10M175/00 | 分类号： | C10M175/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 张海英 |
| 地址： | 214177 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种硅片切割砂浆的回收方法，包括以下步骤a、将硅片切割机使用后的废砂浆收集后置于搅拌机中，加入去离子水稀释；b、将稀释后的废砂浆送入压滤机，使其固液分离；c、在固液分离后的液体中加入活性炭进行脱色；d、将脱色后的液体送入粗效过滤器中进行粗过滤；e、将粗过滤后的液体送入离子交换器中去除金属离子；f、将去除金属离子的液体送入精密过滤器中进行精过滤；g、将精过滤的液体送入蒸发器中，除去滤液中的水分，得到无色、透明、无电导、水分含量0.5％以下的可回用的硅片切割砂浆。所述一种硅片切割砂浆的回收方法简单、方便，不仅大大提高了回收率，且回收后的硅片切割砂浆的纯度符合使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切割 砂浆 回收 方法 | ||
【主权项】：
一种硅片切割砂浆的回收方法，其特征在于：包括以下步骤：a、将硅片切割机使用后的废砂浆收集后置于搅拌机中，加入去离子水稀释；b、将稀释后的废砂浆送入压滤机，使其固液分离；c、在固液分离后的液体中加入活性炭进行脱色；d、将脱色后的液体送入粗效过滤器中进行粗过滤；e、将粗过滤后的液体送入离子交换器中去除金属离子；f、将去除金属离子的液体送入精密过滤器中进行精过滤；g、将精过滤的液体送入蒸发器中，除去滤液中的水分，得到无色、透明、无电导、水分含量0.5％以下的可回用的硅片切割砂浆。
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