[发明专利]一种硅片切割砂浆的回收方法在审

专利信息
申请号: 201610507106.X 申请日: 2016-06-30
公开(公告)号: CN107557135A 公开(公告)日: 2018-01-09
发明(设计)人: 崔敏娟 申请(专利权)人: 崔敏娟
主分类号: C10M175/00 分类号: C10M175/00
代理公司: 北京品源专利代理有限公司11332 代理人: 张海英
地址: 214177 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 切割 砂浆 回收 方法
【权利要求书】:

1.一种硅片切割砂浆的回收方法,其特征在于:包括以下步骤:

a、将硅片切割机使用后的废砂浆收集后置于搅拌机中,加入去离子水稀释;

b、将稀释后的废砂浆送入压滤机,使其固液分离;

c、在固液分离后的液体中加入活性炭进行脱色;

d、将脱色后的液体送入粗效过滤器中进行粗过滤;

e、将粗过滤后的液体送入离子交换器中去除金属离子;

f、将去除金属离子的液体送入精密过滤器中进行精过滤;

g、将精过滤的液体送入蒸发器中,除去滤液中的水分,得到无色、透明、无电导、水分含量0.5%以下的可回用的硅片切割砂浆。

2.根据权利要求1所述的一种硅片切割砂浆的回收方法,其特征在于:所述步骤a中废砂浆与去离子水的比例为2:1。

3.根据权利要求1所述的一种硅片切割砂浆的回收方法,其特征在于:所述步骤b中的压滤机为板框压滤机。

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