[发明专利]一种雪崩二极管探测器光耦合系统及其测量方法在审
申请号: | 201610499854.8 | 申请日: | 2016-06-29 |
公开(公告)号: | CN106198395A | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 窦秀明;丁琨;孙宝权 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17;G01N21/01 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种雪崩二极管探测器光耦合系统及其测量方法,所述系统包括:光学密封盒、光谱仪、光纤、三轴光纤调节架、雪崩二极管探测器,所述光谱仪对样品发射的光信号进行光谱过滤,所述光学密封盒固接于光谱仪的出射狭缝端,接收由光谱仪出射的光信号,并屏蔽外部杂散光,光纤的输入端通过三轴光纤调节架固定至光学密封盒,接收所述光信号,雪崩二极管探测器,其光纤接口连接光纤的输出端,用于探测所述光信号,本发明采用光纤将雪崩二极管探测器光耦合转变为光纤的光耦合,来实现方便、准确进行光谱测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 雪崩 二极管 探测器 耦合 系统 及其 测量方法 | ||
【主权项】:
一种雪崩二极管探测器光耦合系统,其特征在于,所述系统包括:光学密封盒(1)、光谱仪(2)、光纤(6)、雪崩二极管探测器(7);所述光谱仪(2),用于对样品发射的光信号进行光谱过滤;所述光学密封盒(1),固接于所述光谱仪(2)的出射狭缝端,接收由光谱仪(2)出射的光信号,并屏蔽外部杂散光;所述光纤(6),其输入端固定至所述光学密封盒(1),接收所述光信号;所述雪崩二极管探测器(7),其光纤接口连接光纤(6)的输出端,用于探测所述光信号。
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