[发明专利]基板加工系统及基板检测方法

摘要

本发明涉及一种基板加工系统，包括基板加工设备和基板检测装置；基板加工设备包括真空腔室，基板加工设备用于在真空腔室内加工基板；基板检测装置包括图像传感器和控制模块，图像传感器设置于真空腔室内，图像传感器用于检测并反馈基板的状态；控制模块与图像传感器和基板加工设备连接，控制模块用于控制图像传感器的工作，还用于根据反馈的基板的状态控制基板加工设备的工作。本发明还提供一种基板检测方法，包括步骤：检测基板的状态；判断基板是否为不良基板，若是，则发送不良基板信号；根据不良基板信号发出指令；接收指令并执行相应操作。上述系统及方法，可及时发现真空腔室内正在加工的不良基板，从而及时避免造成不必要的浪费及损失。

主权项

1.一种基板加工系统，用于加工基板，其特征在于，包括基板加工设备、基板检测装置和暂存腔室；所述基板加工设备包括真空腔室，所述基板加工设备用于在所述真空腔室内加工所述基板；所述基板检测装置包括图像传感器和控制模块，所述图像传感器设置于所述真空腔室内，所述图像传感器用于检测并反馈所述基板的状态；所述控制模块与所述图像传感器、所述基板加工设备连接，所述控制模块用于控制所述图像传感器的工作，所述控制模块还用于根据反馈的所述基板的状态控制所述基板加工设备的工作；其中，所述基板的状态包括所述基板的完整度信息，所述完整度信息包括裂纹情况或破损情况；以及所述控制模块根据反馈的所述基板的状态控制所述基板加工设备的工作包括停机、报警或将不良基板传送至所述暂存腔室，所述暂存腔室用于存放不良的所述基板。