[发明专利]内圆锥角激光干涉测量装置及方法

摘要

内圆锥角激光干涉测量装置及方法属于激光测量技术领域。现有技术为接触测量，可能损伤被测工件。在本发明之测量装置中，激光器与分光镜同光轴排列，分光镜与光轴夹角为45°；显微镜CCD位于分光镜的反射光轴上，显微镜CCD接计算机。本发明之测量方法其特征在于，激光器发出的一束激光被分光镜分光为测量光和参考光，由相交的测量光的光轴和参考光的光轴确定的平面与待测内圆锥器件的圆锥面的任意一个子午面重合，测量光被圆锥面两次反射后与参考光交汇，沿参考光光轴将显微镜CCD感光面的位置调整到测量光与参考光的交汇处，显微镜CCD将测量光与参考光交汇后产生的干涉条纹图像发送给计算机，由计算机分析得到干涉条纹间距，再根据公式计算内圆锥角。

主权项

1.一种内圆锥角激光干涉测量方法，其特征在于，激光器(1)发出的一束激光被分光镜(2)分光为两束，透射分光镜(2)沿原方向传播的一束为测量光(m)，被分光镜(2)反射沿与原方向垂直的方向传播的一束为参考光(r)，测量光(m)的光轴和参考光(r)的光轴相交于激光器(1)发出的激光在分光镜(2)上的入射点，由相交的测量光(m)的光轴和参考光(r)的光轴确定的平面与待测内圆锥器件(5)的圆锥面的任意一个子午面重合，测量光(m)被圆锥面两次反射后与参考光(r)交汇，沿参考光(r)光轴将显微镜CCD(3)感光面(s)的位置调整到测量光(m)与参考光(r)的交汇处，显微镜CCD(3)将测量光(m)与参考光(r)交汇后产生的干涉条纹图像(i)发送给计算机(4)，由计算机(4)分析得到干涉条纹间距(d)，再根据公式得出待测内圆锥器件(5)的圆锥面的内圆锥角(β)，式中：λ为激光器(1)发出的激光的波长，θ为参考光(r)与显微镜CCD(3)感光面(s)的夹角。