[发明专利]高压放电激光触发开关有效

专利信息
申请号: 201610471352.4 申请日: 2016-06-24
公开(公告)号: CN106130532B 公开(公告)日: 2019-01-29
发明(设计)人: 刘佳琦;李文涛;秦志勇;王文涛;王成;刘建胜;李儒新;徐至展 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: H03K17/94 分类号: H03K17/94
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 张泽纯;张宁展
地址: 201800 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种高压放电激光触发开关,构成包括:绝缘底座、高压电极法兰、高压电极头、低压电极头、低压电极法兰、透镜支撑法兰、透镜压圈和透镜。本发明触发开关可以连续地调节触发开关的自触发电压,使之与工作电压更加接近,更易触发放电;聚焦位置可以精确调节,产生的等离子体能量稳定。本发明可将触发与放电起始的延时缩短在130纳秒以内、延时抖动在5纳秒以内,实现了高精度、高稳定性的高压放电触发,可用于高精度控制的高压放电系统。
搜索关键词: 高压 放电 激光 触发 开关
【主权项】:
1.一种高压放电激光触发开关,特征在于其结构包括:绝缘底座(1)、高压电极法兰(2)、高压电极头(3)、低压电极头(4)、低压电极法兰(5)、透镜支撑法兰(6)、透镜压圈(7)和透镜(8);所述的绝缘底座(1)呈外方内圆的结构,具有开口向上、左右贯通的多半圆形凹槽,该凹槽的一端有一段内螺纹(1‑1),所述的绝缘底座(1)的另一端侧壁上有多个螺孔;所述的高压电极法兰(2)和低压电极法兰(5)均呈T形,所述的高压电极法兰(2)和低压电极法兰(5)的较窄一端各有螺纹(2‑1)和螺纹(5‑1),所述的高压电极法兰(2)较宽的法兰盘朝外,且该法兰盘通过螺栓与所述的绝缘底座(1)的螺孔连接,将所述的高压电极法兰(2)与所述的绝缘底座(1)固定,所述的低压电极法兰(5)较窄一端与所述的高压电极法兰(2)的较窄一端相向,所述的低压电极法兰(5)通过螺纹法兰的螺纹固定在所述的绝缘底座(1)的内螺纹(1‑1)内;所述的透镜支撑法兰(6)通过螺纹法兰的螺纹固定在所述的绝缘底座(1)的内螺纹(1‑1)内,所述的高压电极头(3)的螺纹(3‑1)旋在所述的高压电极法兰(2)的螺纹(2‑1)上,所述的低压电极头(4)的螺纹(4‑1)旋在所述的低压电极法兰(5)的螺纹(5‑1)上,所述的低压电极头(4)的中心有激光通孔(4‑2);所述的透镜(8)固定在所述的透镜支撑法兰(6)内并通过所述的透镜压圈(7)固定;所述的透镜支撑法兰(6)通过螺纹固定在所述的绝缘底座(1)的内螺纹(1‑1)内;依次的所述的高压电极法兰(2)、高压电极头(3)、低压电极头(4)、激光通孔(4‑2)、低压电极法兰(5)和透镜(8)与所述的绝缘底座(1)的多半圆形凹槽共轴。
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