[发明专利]一种扩散炉在审
申请号: | 201610467386.6 | 申请日: | 2016-06-24 |
公开(公告)号: | CN107546294A | 公开(公告)日: | 2018-01-05 |
发明(设计)人: | 周银峰 | 申请(专利权)人: | 周银峰 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C30B31/00;C30B31/06 |
代理公司: | 成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙)51239 | 代理人: | 刘华平 |
地址: | 610000 四川省成都*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种扩散炉,包括炉体和隔热门,炉体上设置有废气排气管,所述废气排气管上设置有管接头,所述隔热门包括外板和内板,外板与内板之间设置有连接筋,外板与内板之间还设置有隔热层,所述炉体的外壁上设置有保温层,保温层与炉体之间设置有温度监控仪。本发明结构设计合理,废气排气管上设置管接头,接头拆卸、更换方便,便于及时处理废气,隔热门为双层结构,且具有保温夹层,隔热效果较好,阻止了炉口由于热量散失导致的温度下降;设置保温层,保温效果好,且设置的温度监控仪便于监测炉体的温度,从而保证扩散炉内温度的一致性。 | ||
搜索关键词: | 一种 扩散 | ||
【主权项】:
一种扩散炉,包括炉体和隔热门,炉体上设置有废气排气管,其特征在于:所述废气排气管上设置有管接头,所述隔热门包括外板和内板,外板与内板之间设置有连接筋,外板与内板之间还设置有隔热层,所述炉体的外壁上设置有保温层,保温层与炉体之间设置有温度监控仪。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的