[发明专利]一种扩散炉

说明书

技术领域

本发明涉及一种太阳能电池领域，特别涉及一种扩散炉。

背景技术

随着全球能源日趋紧张，太阳能成为新型能源得到了大力开发，太阳能电池作为绿色环保的清洁能源，安装量与日俱增。扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉在太阳能电池链式扩散工艺中扮演着非常重要的角色。传统的扩散炉的炉口主要通过使用隔热挡片达到隔热效果，以避免热量散失，但是，隔热挡片的隔热效果较差，不能满足要求；且现有的扩散炉结构简单，保温效果较差，且排放的废气不便于处理，易造成污染。

发明内容

本发明的目的就在于提供一种结构设计合理，隔热效果和保温效果较好，便于处理废气的扩散炉。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是这样的：本发明的扩散炉，包括炉体和隔热门，炉体上设置有废气排气管，所述废气排气管上设置有管接头，所述隔热门包括外板和内板，外板与内板之间设置有连接筋，外板与内板之间还设置有隔热层，所述炉体的外壁上设置有保温层，保温层与炉体之间设置有温度监控仪。

作为优选，所述隔热层为石棉、玻璃棉、岩棉、渣棉、漂白土纤维、绿坡石或海泡石中的一种或多种制成。

作为优选，所述保温层为石英棉。

与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明结构设计合理，废气排气管上设置管接头，接头拆卸、更换方便，便于及时处理废气，隔热门为双层结构，且具有保温夹层，隔热效果较好，阻止了炉口由于热量散失导致的温度下降；设置保温层，保温效果好，且设置的温度监控仪便于监测炉体的温度，从而保证扩散炉内温度的一致性。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步说明。

参见图1，本发明的扩散炉，包括炉体1和隔热门，炉体1上设置有废气排气管2，所述废气排气管2上设置有管接头3，所述隔热门包括外板4和内板5，外板4与内板5之间设置有连接筋6，外板4与内板5之间还设置有隔热层7，所述炉体1的外壁上设置有保温层8，保温层8与炉体1之间设置有温度监控仪9，所述隔热层7为石棉、玻璃棉、岩棉、渣棉、漂白土纤维、绿坡石或海泡石中的一种或多种制成，所述保温层8为石英棉。

温度监控仪9与扩散炉的控制系统连接，废气排气管2上设置管接头3，接头拆卸、更换方便，便于及时处理废气，隔热门为双层结构，且具有保温夹层，隔热效果较好，阻止了炉口由于热量散失导致的温度下降；设置保温层8，保温效果好，且设置的温度监控仪9便于监测炉体1的温度，从而保证扩散炉内温度的一致性。