[发明专利]一种碳化硅晶体表面台阶宽度的检测方法

摘要

本发明属于新材料加工技术领域，发明人首次提出采用傅里叶变换来测量晶体平台宽度的概念，以分布图的形式直观得到晶体生长后的平均平台宽度，打破了以往常规的传统人工测量晶体台阶的方法，以及观察范围窄、测量成本高、耗时等弊端，不论是何种晶体类型或是角度，观察范围广，从微观到宏观都能连续可测，可以真实地反映晶体表面台阶情况，是目前最直接有效的检测晶体表面台阶的方法。

主权项

1.一种碳化硅晶体表面台阶宽度的检测方法，其特征在于：包括以下步骤：首先，获取碳化硅晶体表面的轮廓图，其中微观层面采用AFM进行检测，宏观层面则采用台阶仪检测；然后在得到的轮廓图上，沿着台阶流动的方向任意取一条轮廓线，其轮廓线的长度需涵盖所需检测的范围；接着对选取的轮廓线经过光滑处理后得到轮廓曲线，从该曲线图中可看到尺寸不一的巨型台阶和平台；采用傅里叶变换的方法，对该轮廓曲线进行信号处理，最终可得波数频率分布图，依据波数与波长之间的倒数关系，由此推出平台宽度的分布，得知晶体生长后的平均平台宽度。