[发明专利]采用磁拖动结构实现的LDP Sn介质EUV光源系统在审
| 申请号： | 201610452115.3 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN105867076A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 赵永蓬;徐强;王骐 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳昕 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 采用磁拖动结构实现的LDP Sn介质EUV光源系统，涉及极紫外光刻光源技术，目的是为了解决LDP EUV光源的Sn靶拖动装置无法确保Sn靶与外界处于真空隔离状态的问题。本发明中Sn靶的拖动装置采用磁拖动结构实现，磁拖动结构中的转动电机用于带动电磁铁旋转，电磁铁带动Sn靶旋转，Sn靶为圆形，并能够绕其轴线转动，支撑架为带有磁铁的圆形框架，Sn靶固定在支撑架上，支撑架位于LDP Sn介质EUV光源系统的真空放电室内部，转动电机和电磁铁位于LDP Sn介质EUV光源系统的真空放电室外部。本发明能够实现拖动结构、电源及Sn靶之间的真空隔离，结构简单、控制精度高，适用于LDP Sn介质EUV光源系统。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 拖动 结构 实现 ldp sn 介质 euv 光源 系统 | ||
【主权项】：
采用磁拖动结构实现的LDP Sn介质EUV光源系统，其特征在于，其中Sn靶的拖动装置采用磁拖动结构实现，所述磁拖动结构包括转动电机(1)、电磁铁(2)和支撑架(3)，所述LDP Sn介质EUV光源系统的Sn靶为圆形，并能够绕其轴线转动，支撑架(3)为圆形框架，所述圆形框架上设置有磁铁，所述Sn靶固定在支撑架(3)上，电磁铁(2)固定在转动电机(1)的转轴上，且电磁铁(2)的轴线与转动电机(1)的转轴线垂直，电磁铁(2)的轴线与支撑架(3)所在平面平行，支撑架(3)位于LDP Sn介质EUV光源系统的真空放电室内部，转动电机(1)和电磁铁(2)位于LDP Sn介质EUV光源系统的真空放电室外部。
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