[发明专利]采用磁拖动结构实现的LDP Sn介质EUV光源系统在审
| 申请号： | 201610452115.3 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN105867076A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 赵永蓬;徐强;王骐 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳昕 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 拖动 结构 实现 ldp sn 介质 euv 光源 系统 | ||
【说明书】：
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