[发明专利]一种高效晶硅PERC电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种高效晶硅PERC电池的制备方法，所述制造方法包括：提供硅片，并在所述硅片的正面形成绒面；在所述硅片的正面形成磷扩散层，然后去除所述硅片的正面的PSG和周边磷扩散层；在所述硅片的正面形成SiNx减反层；在所述硅片的背面形成AlOx钝化层；在所述硅片的背面形成SiNx保护层；对所述硅片进行激光开窗，所述激光开窗工艺分两次完成；对所述硅片进行丝网印刷。相应的，本发明还提供了一种高效晶硅PERC电池，其采用本发明提供的制备方法制备而成。本发明提供的制备方法工艺简单、成本低、且获得的晶硅PERC电池效率高、外观优良。

主权项

一种高效晶硅PERC电池的制备方法，其特征在于，所述制造方法包括：a)提供硅片，并在所述硅片的正面形成绒面；b)在所述硅片的正面形成磷扩散层，然后去除所述硅片的正面的PSG和周边磷扩散层；c)在所述硅片的正面形成SiNx减反层；d)在所述硅片的背面形成AlOx钝化层；e)在所述硅片的背面形成SiNx保护层；f)对所述硅片进行激光开窗，所述激光开窗工艺分两次完成；g)对所述硅片进行丝网印刷。