[发明专利]一种硼化铪-碳化硅-石墨-硅化钽复合陶瓷发热体及其制备方法

摘要

本发明公开了一种硼化铪‑碳化硅‑石墨‑硅化钽复合陶瓷发热体及其制备方法，按以下步骤进行：按比例配取硼化铪、碳化硅、石墨及硅化钽混合粉末作为球磨物料，将球磨物料与无水乙醇按体积比为1：(1～2)的比例加入球磨机中球磨；其中，硼化铪体积百分比为60vol％～83vol％，碳化硅的体积百分比10vol％～20vol％，石墨的体积百分比为5vol％～15vol％，硅化钽的体积百分比为2vol％～5vol％；采用旋转蒸发器对混合浆料予以干燥；将混合好的粉末装入石墨模具放入真空热压炉进行热压烧结。本发明以硼化铪、碳化硅、石墨及硅化钽为原料，制备的发热体致密度高、使用温度高、在氧化性环境中最高使用温度达2500℃、抗氧化和机械强度优异，在安装使用过程不易发生断裂，且工艺简单，生产周期短，适合工业化生产。

主权项

1.一种硼化铪‑碳化硅‑石墨‑硅化钽复合陶瓷发热体制备方法，其特征在于：按以下步骤进行制备：第一步：混料按比例配取硼化铪、碳化硅、石墨及硅化钽混合粉末作为球磨物料，将球磨物料与无水乙醇按体积比为1：(1～2)的比例加入球磨机中球磨；混合粉末中，硼化铪体积百分比为60vol％～83vol％，碳化硅的体积百分比为10vol％～20vol％，石墨的体积百分比为5vol％～15vol％，硅化钽的体积百分比为2vol％～5vol％；第二步：干燥采用旋转蒸发器对混合浆料予以干燥以避免混合浆料在干燥过程中因密度差异而沉淀分层；第三步：烧结将混合好的粉末装入石墨模具，粉末与上下石墨垫片之间不直接接触以防止烧结过程中发生反应，然后将模具放入真空热压炉以1900～2000℃的温度、以25～30MPa的压力进行热压烧结。