[发明专利]线路板结构及其制造方法有效
申请号: | 201610417614.9 | 申请日: | 2016-06-15 |
公开(公告)号: | CN107516637B | 公开(公告)日: | 2019-10-11 |
发明(设计)人: | 吴建德;李建财;罗正中 | 申请(专利权)人: | 欣兴电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/498 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马雯雯;臧建明 |
地址: | 中国台湾桃园市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种线路板结构及其制造方法,所述线路板结构的制造方法,其步骤如下。提供玻璃膜于静电吸盘上。于玻璃膜中形成多个第一导通孔。于玻璃膜的上表面上形成第一线路层,使得第一线路层与第一导通孔电性连接。于第一线路层上形成第一聚合物层。第一聚合物层覆盖第一线路层的表面以及玻璃膜的上表面。于第一聚合物层中形成多个第二导通孔。于第一聚合物层上形成第二线路层,使得第二线路层与第二导通孔电性连接。移除静电吸盘。本发明可解决翘曲问题,以提升产品的可靠度与良率。 | ||
搜索关键词: | 线路板 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种线路板结构的制造方法,其特征在于,包括:提供具有上表面、下表面的玻璃膜,所述玻璃膜的下表面直接置于静电吸盘上;于所述玻璃膜的上表面中形成多个第一导通孔,且所述多个第一导通孔贯穿所述玻璃膜的上表面与下表面;于所述玻璃膜的上表面上形成第一线路层,使得所述第一线路层与所述多个第一导通孔电性连接;于所述第一线路层上形成第一聚合物层,所述第一聚合物层覆盖所述第一线路层的表面以及所述玻璃膜的上表面;于所述第一聚合物层中形成多个第二导通孔,其中所述多个第二导通孔与所述第一线路层电性连接;于所述第一聚合物层上形成第二线路层,使得所述第二线路层与所述多个第二导通孔电性连接;以及移除所述静电吸盘,以形成第一线路板结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欣兴电子股份有限公司,未经欣兴电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610417614.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种低温外延方法及装置
- 下一篇:沙漠地区土地防治体系
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造