[发明专利]真空蒸镀装置、蒸镀膜的制造方法和有机电子器件的制造方法有效
| 申请号： | 201610416499.3 | 申请日： | 2016-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN106256925B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 三泽启太;后藤亮太;风间良秋;七五三木浩一 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空蒸镀装置、蒸镀膜的制造方法和有机电子器件的制造方法，该真空蒸镀装置能够防止蒸镀中的热变形，从而高精度地以所希望的图案成膜。一种真空蒸镀装置，其在蒸镀室(1)中设置有蒸发源(2)和蒸发源移动机构或者基板移动机构，所述蒸发源隔着掩模对基板进行蒸镀，所述蒸发源移动机构在进行蒸镀时使所述蒸发源(2)相对于所述基板相对移动，所述基板移动机构在进行蒸镀时使所述基板相对于所述蒸发源相对移动，其中，所述蒸发源移动机构或所述基板移动机构构成为：在对所述基板开始蒸镀之前，利用所述蒸发源(2)进行所述掩模的预先加热。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 镀膜 制造 方法 有机 电子器件 | ||
【主权项】：
一种真空蒸镀装置，其在蒸镀室中设置有蒸发源和蒸发源移动机构或者基板移动机构，所述蒸发源隔着掩模对基板进行蒸镀，所述蒸发源移动机构在进行蒸镀时使所述蒸发源相对于所述基板相对移动，所述基板移动机构在进行蒸镀时使所述基板相对于所述蒸发源相对移动，其特征在于，所述蒸发源移动机构或所述基板移动机构构成为：在对所述基板开始蒸镀之前，利用所述蒸发源进行所述掩模的预先加热。
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