[发明专利]一种利用硅纳米管制备超高α相氮化硅的方法有效
| 申请号： | 201610416082.7 | 申请日： | 2016-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN105884374B | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 赵立旸;戎华;李钦稿;杜英 | 申请（专利权）人： | 杭州硅诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/584 | 分类号： | C04B35/584;C04B35/65 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用硅纳米管制备高α相氮化硅的方法，包括以下步骤：S1、将外径为50‑500nm，内径为20‑300nm，比表面积为20‑100m2/g的硅纳米管在氮气中进行高温氮化，所述高温氮化的温度为1220～1370℃，保温时间为12～28h，得到产物1；S2、将S1后的产物1进行行星式高能球磨，所述行星式高能球磨的转速为1000r/min，时间为20‑30h，本发明的制备方法工艺简单、性能可控，且生产周期短、极大地降低了生产能耗，特别适合制备超高α相氮化硅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 纳米 制备 超高 氮化 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用硅纳米管制备超高α相氮化硅的方法，其特征在于，包括以下步骤：取用硅纳米管为原料，其外径为75nm，内径为30nm，比表面积为90m2/g。在氮气气氛下，于1250℃保温20h，即可得到疏松的高α相氮化硅；再使用行星式球磨机对得到的氮化硅进行行星式高能球磨，其球磨转速为1000r/min，时间为22h，即可得到粒度分布均匀的超高α相氮化硅，所述超高α相氮化硅的α相含量为99.1%。
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