[发明专利]高速重复脉冲式径向流动微量气体供给阀

摘要

本发明公开了一种高速重复脉冲式径向流动微量气体供给阀，包括阀体、设于阀体上用于控制径向阀口工作状态转换的驱动部和执行构件，该驱动部包括位于阀口处且相对簧片设置的感应驱动线圈及脉冲驱动电路，执行构件为扁平截锥壳状簧片；簧片的内沿固定，外部可沿轴向变形。本发明由于簧片的质量小，在感应涡流斥力作用下可实现阀的快速开启；簧片的截锥壳状结构与普通平板式结构相比，在外沿产生相同的变形时储备的弹性势能更大，因此可以实现快速闭合；感应驱动线圈设计成扁平截锥状螺旋结构并相对簧片放置，可有效提高簧片中的电磁力密度；且驱动部和执行构件的组合形式使阀整体结构尺寸和质量极大减小，利于结构的小型化和轻量化。

主权项

一种高速重复脉冲式径向流动微量气体供给阀，包括阀体、设于阀体上用于控制其径向阀口工作状态转换的驱动部和执行机构，其特征在于，所述驱动部包括位于阀口处且相对簧片(15)设置的感应驱动线圈(14)及与所述感应驱动线圈(14)相连的脉冲驱动电路，所述感应驱动线圈(14)为扁平截锥状螺旋结构；所述执行机构为簧片(15)，所述簧片(15)为扁平截锥壳状且位于所述感应驱动线圈(14)之上，所述簧片(15)的内沿固定，其外沿可沿轴向变形以经电磁感应实现所述径向阀口的开闭动作，所述簧片(15)与所述感应驱动线圈(14)之间设有与所述簧片(15)外沿相作用紧密所述阀口且吸收闭合时所述簧片(15)动能的密封片(6)。