[发明专利]一种碳化硅纳米颗粒的流化床化学气相沉积制备方法在审
| 申请号： | 201610397741.7 | 申请日： | 2016-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN106082227A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 刘荣正;刘马林;邵友林;常家兴;刘兵;唐亚平 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C01B31/36 | 分类号： | C01B31/36;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王文君 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种碳化硅纳米颗粒的流化床化学气相沉积制备方法，包括采用流化床化学气相沉积法，将前躯体材料六甲基二硅烷加热产生蒸汽，通过气体载带的方式进入流化床反应器；前躯体蒸汽在高温区发生热解反应，形成碳化硅纳米颗粒；纳米颗粒在流化气体的作用下输运至反应器上部，通过负压装置吸出，收集得到碳化硅纳米粉体；在惰性气氛下高温热处理，得到结晶良好的碳化硅纳米颗粒。所得碳化硅纳米颗粒为立方相碳化硅，颗粒形状为球形，粒径分布窄，颗粒尺寸在5～300纳米可调。通过调节反应气氛，得到纯碳化硅、富硅或富碳的碳化硅纳米颗粒。本发明工艺流程简单，工艺操作便捷，成本低，有利于实现工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 纳米 颗粒 流化床 化学 沉积 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种碳化硅纳米颗粒的流化床化学气相沉积制备方法，其特征在于，所述制备方法具体包括如下步骤：1)将流化床反应器加热至一定温度，同时通入一定量的流化气体，并加入一定量的惰性流化颗粒；2)将前躯体材料六甲基二硅烷加热产生蒸汽，蒸汽通过气体载带进入流化床反应器；3)前躯体材料蒸汽在流化床反应器高温区发生热解反应，形成碳化硅纳米颗粒；4)所述碳化硅纳米颗粒在流化气体的作用下输运至反应器上部，通过负压装置吸出，收集得到碳化硅纳米粉体；5)将所得碳化硅纳米粉体在氩气气氛下进行热处理，得到结晶良好的碳化硅纳米颗粒。
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