[发明专利]化学机械抛光垫的检测窗及其制备方法在审
| 申请号： | 201610390615.9 | 申请日： | 2016-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN105922126A | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 朱顺全;梅黎黎 | 申请（专利权）人： | 湖北鼎龙控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B29C39/02;C08G18/12;C08G18/48;C08G18/38;C08G18/76 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 涂洁 |
| 地址： | 430057 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种化学机械抛光垫的检测窗及其制备方法，技术方案包括将异氰酸根封端的预聚物与固化剂混合均匀固化而成，其中，所述异氰酸根封端的预聚物由以下三种原料混合反应而成，原料A为异氰酸根不与苯环直接相连的异氰酸酯；原料B为分子量为500‑1500的多元醇；原料C为双官能度硫醇化合物，其中原料B和C合计100wt％计，原料C占1‑99wt％。本发明工艺简单，生产成本低，制得的检测窗透光性好、性能稳定、使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 检测 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械抛光垫的检测窗的制备方法，其特征在于，将异氰酸根封端的预聚物与固化剂混合均匀固化而成，其中，所述异氰酸根封端的预聚物由以下三种原料混合反应而成，原料A为异氰酸根不与苯环直接相连的异氰酸酯；原料B为分子量为500-1500的多元醇；原料C为双官能度硫醇化合物，所述双官能度硫醇化合物具有以下结构通式：HS-[R]-SH，其中R为饱和碳氢链、不饱和碳氢链、取代或未取代的芳香基团中的至少一种，其中原料B和C合计100wt％计，原料C占1-99wt％。
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