[发明专利]菱形铰链斜槽式正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法有效
| 申请号： | 201610386982.1 | 申请日： | 2016-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN106059382B | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 程廷海;王占礼;张邦成;柳虹亮;宋兆阳;秦峰 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | H02N2/02 | 分类号： | H02N2/02;H02N2/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种菱形铰链斜槽式正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法，以解决当前压电粘滑直线马达由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明由预紧力调节装置、定子和动子组成；所述定子利用斜槽式菱形运动转换器来产生侧向位移，增大了摩擦驱动力，减小了摩擦阻力，所产生的侧向位移通过驱动足实现动子驱动；同时将摩擦调控波耦合叠加于定子快速变形阶段的锯齿驱动波中，降低了快速变形阶段定、动子间摩擦阻力，降低了位移回带率，显著提升压电粘滑直线马达的机械输出特性。本发明因具有结构紧凑、控制简单、定位精度高等优点，可广泛应用于半导体加工与光学精密仪器等先进技术领域中。 | ||
| 搜索关键词： | 菱形 铰链 斜槽 正交 驱动 压电 直线 马达 及其 复合 激励 方法 | ||
【主权项】：
一种菱形铰链斜槽式正交驱动型压电粘滑直线马达，该菱形铰链斜槽式正交驱动型压电粘滑直线马达由预紧力调节装置（1）、定子（2）和动子（3）组成；其中定子（2）固定安装在预紧力调节装置（1）上，动子（3）固定安装在预紧力调节装置（1）上；其特征在于预紧力调节装置（1）由固定支座（1‑1）、载物台（1‑2）和预紧机构（1‑3）组成；所述固定支座（1‑1）设置固定导轨安装孔（1‑1‑1）、固定导轨安装平面（1‑1‑8），动子（3）通过固定导轨安装孔（1‑1‑1）安装在固定导轨安装平面（1‑1‑8）上，固定支座（1‑1）底部设置有安装螺纹孔（1‑1‑2），固定支座（1‑1）通过安装螺纹孔（1‑1‑2）与外围装置固定连接，所述固定支座（1‑1）设置有滚动架（1‑1‑4），所述固定支座（1‑1）设置有锁紧保持架固定螺钉（1‑1‑5）、锁紧保持架（1‑1‑6）和紧固螺钉（1‑1‑7），通过紧固螺钉（1‑1‑7）与锁紧保持架固定螺钉（1‑1‑5）的螺纹连接固定载物台（1‑2），固定支座（1‑1）设置有保持架（1‑1‑9），保持架（1‑1‑9）安装有下底座限位螺钉（1‑1‑3），固定支座（1‑1）设置有弹簧（1‑1‑10），下弹簧拉杆（1‑1‑11），下弹簧拉杆（1‑1‑11）与弹簧（1‑1‑10）固连，固定支座（1‑1）设置有螺纹孔（1‑1‑12），其与预紧机构（1‑3）进行螺纹连接；所述载物台（1‑2）设置有螺纹安装孔（1‑2‑1），载物台（1‑2）设置有上限位螺钉（1‑2‑2），载物台（1‑2）设置有上弹簧拉杆（1‑2‑3），其与弹簧（1‑1‑10）另一端固连，载物台（1‑2）侧面设置有紧固螺纹孔（1‑2‑4），紧固螺纹孔（1‑2‑4）与紧固螺钉（1‑1‑7）螺纹连接，载物台（1‑2）设置有滑轨（1‑2‑5）；所述预紧机构（1‑3）与螺纹孔（1‑1‑12）螺纹连接预紧定子（2）。
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