[发明专利]一种多自由度微动调整装置

摘要

本发明公开了一种多自由度微动调整装置，包括固定台、上下移动单元、水平移动单元和微动调整臂，其中上下移动单元沿着竖直方向设置在固定台上，其包括彼此连接的导向部和安装有上下驱动电机的移动部；水平移动单元沿着水平方向设置在上下移动单元的移动部上，并包括彼此滑动连接的第一关联部件、第二关联部件和第三关联部件，其中第一关联部件上安装有左右驱动电机，第二关联部件上安装有前后驱动电机，第三关联部件上安装有旋转运动电机，旋转运动电机上安装有微动调整臂。本发明通过对驱动电机与移动部的高精度控制，能够有效保证微动调整操作的精确性，同时具备运动精度高、调节灵活和结构紧凑的优点。

主权项

种多自由度微动调整装置，其特征在于，该多自由度微动调整装置安装在扫描电子显微镜的真空腔内，其包括固定台、上下移动单元(1)、水平移动单元(2)和微动调整臂(7)，其中，所述上下移动单元(1)沿着竖直方向设置在固定台上，其包括通过滚珠导轨彼此连接的导向部(11)和移动部(12)，所述导向部(11)与固定台相连，导向部用于对设置其上的结构进行支撑，所述移动部(12)上安装有上下驱动电机(4)，所述上下驱动电机(4)用于带动移动部(12)沿Z轴方向上下移动，所述移动部(12)的顶部与所述导向部(11)的底部之间设置有复位弹簧，所述水平移动单元(2)通过连接板沿着水平方向设置在上下移动单元(1)的移动部(12)上，其包括第一关联部件(21)、第二关联部件(22)以及第三关联部件(23)，所述第一关联部件(21)和第二关联部件(22)通过滚珠导轨彼此滑动连接，所述第二关联部件(22)和第三关联部件(23)也通过滚珠导轨彼此滑动连接，所述第一关联部件(21)与上下移动单元的移动部(12)保持相连，用于对水平移动单元(2)进行支撑，所述第一关联部件(21)上安装有左右驱动电机(6)，所述第二关联部件(22)与左右驱动电机(6)的转子相连，第二关联部件(22)上安装有前后驱动电机(3)，所述第三关联部件(23)与前后驱动电机(3)的转子相连，所述第三关联部件(23)上安装有旋转运动电机(5)，所述第一关联部件(21)和第二关联部件(22)间设置有复位弹簧，所述第二关联部件(22)和第三关联部件(23)之间也设置有复位弹簧，在此两处设置复位弹簧能使水平移动单元(2)在X轴方向和Y轴方向上往复运动，所述微动调整臂(7)设置在所述旋转运动电机(5)输出轴上。