[发明专利]一种外延反应腔和化学气相外延设备在审
| 申请号： | 201610357320.1 | 申请日： | 2016-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN107435165A | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 孙伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,罗瑞芝 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种外延反应腔和化学气相外延设备。该外延反应腔包括腔体，还包括依次套设在腔体外侧的加热件和保护件，加热件用于对腔体进行加热，保护件能耐受设定的压力，以防止腔体内的工艺气体泄漏。该外延反应腔使加热件更加靠近腔体，从而大大降低了加热过程中的热损耗，提高了加热件对腔体的加热效率；保护件能耐受设定的压力，这使保护件在设定的压力下不容易破损，从而防止腔体内的工艺气体发生泄漏，同时还确保了外延反应腔的工艺安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 反应 化学 设备 | ||
【主权项】：
一种外延反应腔，包括腔体，其特征在于，还包括依次套设在所述腔体外侧的加热件和保护件，所述加热件用于对所述腔体进行加热，所述保护件能耐受设定的压力，以防止所述腔体内的工艺气体泄漏。
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