[发明专利]一种迈克尔逊干涉仪动镜扫描运动平台

摘要

本发明公开了一种迈克尔逊干涉仪动镜扫描运动平台，包括机械传动平台和电子电路模块；所述的机械传动平台包括固定组件部分和相对固定组件部分做往复直线运动的活动组件部分；所述的活动组件部分包括活动设置在直线滚动导轨副上的滑块、设置在滑块上并与直线滚动导轨副平行的滑台和设置在滑台一端的动镜，所述的滑台的另一端通过连接器与电机动子线圈相连接；所述的电子电路模块包括伺服控制电路、光电开关电路、光栅编码器处理电路、通信电路和电源电路；本发明解决了现有动镜扫描运动平台运动均匀性不高、运动速度范围窄以及精度不高的问题，能进行多档速度调整，极大的提高了其适用范围。

主权项

一种迈克尔逊干涉仪动镜扫描运动平台，其特征在于：包括机械传动平台和电子电路模块；所述的机械传动平台包括固定组件部分和相对固定组件部分做往复直线运动的活动组件部分；所述的固定组件部分包括底座（14）、设置在底座（14）上的滑座（12）和设置在滑座（12）上的直线滚动导轨副（11）和直线音圈电机（VCM），所述的直线音圈电机（VCM）包括电机定子（1）和电机动子线圈（2）；所述的活动组件部分包括活动设置在直线滚动导轨副（11）上的滑块（13）、设置在滑块（13）上并与直线滚动导轨副（11）平行的滑台（8）和设置在滑台（8）一端的动镜（9），所述的滑台（8）的另一端通过连接器（3）与电机动子线圈（2）相连接，所述的活动组件部分还包括设置在滑台（8）上的光电开关挡片（4）、光栅尺（5）和位于光栅尺（5）上方的光栅编码器（6），所述的固定组件部分还包括设置在滑座（12）上的光电开关（16）和挡块（10）；所述的电子电路模块包括伺服控制电路、光电开关电路、光栅编码器处理电路、通信电路和电源电路，所述的伺服控制电路通过电机线缆与直线音圈电机（VCM）相连接，所述的光电开关电路通过光电开关线缆与光电开关（16）相连接，所述的光栅编码器处理电路通过光栅编码器线缆与光栅编码器（6）相连接，所述的通信电路连接上位计算机。