[发明专利]检查装置及检查方法有效
| 申请号： | 201610341507.2 | 申请日： | 2016-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN106168582B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 小栗和明;霜鸟博喜;小室朗 | 申请（专利权）人： | JUKI株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在生产现场对已出厂至市场的合格品基板的缺陷进行检验。一种检查装置(14)，其在生产线的运转中针对基板(W)实施通常检查，能够对在通常检查中遗漏的基板的不合格进行检验，该检查装置(14)具有下述部件而构成：存储部(26)，其存储有检查过程的一览；确定部(25)，其确定基板的检查位置；接受部(27)，其从检查过程的一览，针对基板的每个检查位置接受检查过程的选择；以及执行部(28)，其对基板的检查位置执行由通过接受部选择出的检查过程组成的检查逻辑。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种检查装置，其在生产线的运转中针对基板实施通常检查，能够对在所述通常检查中遗漏的所述基板的不合格进行检验，该检查装置的特征在于，具有：存储部，其存储有检查过程的一览；确定部，其确定所述基板的检查位置；接受部，其从所述检查过程的一览，针对所述基板的每个检查位置接受检查过程的选择；以及执行部，其对所述基板的检查位置执行由通过所述接受部选择出的检查过程组成的检查逻辑。
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