[发明专利]检查装置及检查方法有效
| 申请号： | 201610341507.2 | 申请日： | 2016-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN106168582B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 小栗和明;霜鸟博喜;小室朗 | 申请（专利权）人： | JUKI株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【说明书】：
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