[发明专利]一种n型ZnO纳米棒/p型金刚石紫外光伏探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种热蒸发法制备n型ZnO纳米棒/p型金刚石紫外光电探测器的方法。属于半导体物理器件及其制备的技术领域，尤其涉及到一种ZnO纳米棒与掺硼金刚石薄膜异质复合结构的紫外光伏探测器的制备方法。本发明的具有优异紫外光电和光伏响应特性，紫外光伏探测器制作过程简单、生长时间短、成本低、易实现，可控性强、晶体质量高，稳定性好。在军事、民用等领域有着极大的应用潜力。

主权项

一种n型ZnO纳米棒/p型金刚石紫外光伏探测器，其特征是，所述的p型金刚石是硼掺杂多晶金刚石，所述的n型ZnO是热蒸发法制备的ZnO纳米棒阵列结构，垂直生长在p型金刚石上，导电玻璃导电面与ZnO纳米棒结构接触作为导电阴极，p型金刚石作为导电阳极，用银浆在导电阴极和导电阳极分别连接有铜导线。