[发明专利]一种制备三氯氢硅的方法

摘要

本发明涉及化工领域，尤其涉及一种制备三氯氢硅的方法。将氯化氢气体和氢气混合进行干燥，进入深度干燥塔进行进一步干燥；将经过深度干燥的氯化氢和氢气混合气体通入含有硅粉的反应釜内进行反应，生成三氯氢硅粗品；深度冷凝，分离出氢气和未反应的氯化氢，提纯后回收利用；将冷凝的物质通入除磷硼杂质塔顶部，除磷硼杂质塔底部通入水蒸汽和氦气的混合气体，塔顶出口处设置有列管式冷凝器，出口端设置有回流分配器，冷凝器流出物为三氯氢硅，塔底为副产物四氯化硅。本发明降低了原料氯化氢气体的含水量，减轻了设备腐蚀；在原料氯化氢气体内掺杂少量氢气，通过严格条件控制，降低了副产物四氯化硅的生成率，提高了目的产物三氯化硅的收率。

主权项

一种制备三氯氢硅的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将氯化氢气体和氢气混合气体经过三级冷却器进行干燥，然后进入深度干燥塔进行进一步干燥，得到含水量为50‑80ppm的氯化氢和氢气混合气体；(2)将经过深度干燥的氯化氢和氢气混合气体通入含有硅粉的反应釜内进行反应，生成三氯氢硅粗品；(3)将步骤(2)制得的三氯氢硅粗品进行深度冷凝，分离出氢气和未反应的氯化氢气体，提纯后回收利用；(4)将步骤(3)冷凝的物质通入除磷硼杂质塔顶部，除磷硼杂质塔底部通入水蒸汽和氦气的混合气体，塔顶出口处设置有列管式冷凝器，冷凝器出口端设置有回流分配器，调节回流比为(5‑10)：1，冷凝器流出物为三氯氢硅，塔底为副产物四氯化硅。