[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 201610326158.7 | 申请日： | 2016-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN106052942B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | M·鲍曼 | 申请（专利权）人： | TDK-MICRONAS有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06;G01L23/10;F02D41/38 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 金晓 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及压力传感器.压力传感器(10)具有载体芯片(20)，载体芯片其内和/或者其上集成了至少一个传感器元件(30)，传感器元件的测量信号取决于载体芯片(20)中的机械应力.载体芯片(20)在其背面以平坦和材料锁定的形式连接到固体主体(50)，固体主体的弹性模量与载体芯片(20)的弹性模量不同.载体芯片(20)具有至少两个独立且纵向的凹槽(80a，80b)，在凹槽之间布置有传感器元件(30a，30b).所述压力传感器具有偏压电路(40)并用于共轨喷射系统中。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种压力传感器(10)，包括：固体主体(50)；载体芯片(20)，连接到所述固体主体并具有至少两个独立且纵向的凹槽(80a，80b)；至少一个传感器元件(30a，30b)，布置在所述两个独立且纵向的凹槽(80a，80b)之间；以及至少一个偏压电路(40)，连接到所述至少一个传感器元件(30a，30b)或连接到所述传感器元件(30a，30b)中的数个传感器元件.
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