[发明专利]一种应用于机器人减速器部件的真空镀膜方法

摘要

本发明公开了一种应用于机器人减速器部件的真空镀膜方法，将减速器部件进行预处理，去除表面油污、杂质后放置入真空室中，进行抽真空操作，通过真空加热减速器部件和第一镀膜靶材，减速器部件镀上一层中间膜，然后对镀上中间膜的减速器部件和第二镀膜靶材进行真空加热，该第二镀膜靶材为YO₂或CeO₂，减速器部件又镀上一层表面膜。通过上述方法在减速器部件的表面镀制双镀膜层，该双镀膜层具有低表面能、低摩擦力、低磨损的优点，本发明的双层镀膜制备工艺简单、成本低，一定程度上解决机器人减速器部件容易磨损、摩擦力大、噪音大、背隙等问题，延长了减速器的使用寿命。

主权项

一种应用于机器人减速器部件的真空镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，减速器部件预处理：将待镀膜的减速器部件用化学溶剂清洗，去除表面油污、杂质后，进行烘干操作，然后移入真空室中，并悬挂于真空室的支架上；第二步，抽真空：将镀膜靶材和预处理后的减速器部件放置在真空镀膜装置的真空室中，关闭真空镀膜装置门，启动抽真空系统，开始抽真空；第三步，形成中间膜层：对减速器部件和第一镀膜靶材进行真空加热，达到第一镀膜靶材蒸发温度后，保持真空室内的温度和压强，直至形成中间膜层；第四步，形成表面膜层：将第一镀膜靶材更换为第二镀膜靶材，所述第二镀膜靶材为YO₂或CeO₂，对已经镀好中间膜层的减速器部件和第二镀膜靶材进行真空加热，达到第二镀膜靶材YO₂或CeO₂的蒸发温度后，保持真空室内的温度和压强，直至形成表面膜层。