[发明专利]用于热处理单元的校正方法

摘要

用于热处理单元的校正方法。用于确定温度设定点修正值的校正方法，该修正值将应用到具有L个衬底位置的热处理单元的N个加热区中的每个的额定温度设定点，热处理单元和额定设定点限定了旨在建立衬底的目标特性的方法。该校正方法的特征在于，其包括以下步骤：建立敏感度模型，其将L个位置的M个代表性位置中的每个处的衬底特性变化联系到应用在N个加热区中的每个的温度设定点变化，这些变化分别反映相对于目标特性的差值以及相对于额定设定点的差值；基于额定设定点在热处理单元中执行工艺；至少在单元的每个加热区的代表性测量位置测量衬底特性，以提供M个测量值；根据敏感度模型、测量值以及目标衬底特性来确定温度设定点修正值。

主权项

一种用于确定温度设定点修正值的校正方法，所述温度设定点修正值将应用到具有L个衬底位置(5)的热处理单元(1)的N个加热区(2)中的每一个的额定温度设定点，所述热处理单元(1)和额定设定点限定了旨在建立衬底的目标特性的方法，所述校正方法的特征在于，其包括下列步骤：·建立敏感度模型，所述敏感度模型将L个位置(5)的M个代表性位置中的每一个位置处的衬底特性的变化联系到应用至N个加热区(2)中的每一个中的温度设定点变化，这些变化分别反映了相对于目标特性的差值以及相对于额定设定点的差值；·基于额定设定点在热处理单元(1)中执行工艺；·至少在单元(1)的每个加热区(2)的代表性的测量位置处测量衬底的特性，以提供M个测量值；·根据敏感度模型、测量值以及目标衬底特性来确定温度设定点修正值。